センサーウェーハは半導体プロセスの核心である
エッチングプロセスの条件を検証するために使用され、エッチング装置の性能評価などの応用分野でも
使用されます。
弊社のセンサーウェーハは製造ウェーハと
似たサイズと重量を持ち、エッチング装置に積載してESCとチャンバーの温度及び
プラズマ環境をリアルタイムでモニタリングし、
その結果をデジタル化及び図式化することで、作業者が直感的に状態を
確認できるようにしております。
高温から極低温までの様々なテスト条件に
対応するよう設計されており、安定したテスト環境と実際の生産における
正確な測定を提供し、エッチング装置の必須プロセス装置として
使用されております。
また、さまざまな装置メーカーとの協力を通じて
お客様の需要と満足度を向上させております。
半導体プロセス技術の進化に伴い、ライン幅の精密度がますます向上しております。また、エッチング装置の性能も高度化しており、高温、極低温、多様なプラズマ環境、EUV適用などの技術が進化しています。これらの装置のメンテナンス及びプロセスの安定性を
確保するためにセンサーウェーハが
必須装置として浮上しており、技術開発及び協力開発が求められております。弊社は高温、極低温、プラズマ、EUV環境など様々な条件に対応する
センサーウェーハを開発しており、装置メーカー及び半導体メーカー間の
パートナーシップを通じて製品を供給しております。
安定した測定結果を確保し、均一性を確保するために様々な環境で
測定および検証を経て製品を出荷しております。関連検証のための施設及び加工装置を
保有しております。
ウェーハ型センサー開発及び生産のための
専用FAB施設と装置及び分析システムを
保有しております。
様々な分野のお客様に最高のサービス及び
ユーザー体験を提供致します。
